碳化硅晶圓ID激光標(biāo)刻設(shè)備
全自動(dòng)晶圓激光標(biāo)刻機(jī)主要是對(duì)各種外延硅晶圓片、先進(jìn)封裝復(fù)合晶圓、SIC晶圓進(jìn)行精密標(biāo)記；適用于6inch,8inch,12inch晶圓打碼
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特點(diǎn)：
• 專業(yè)料盒上下料，機(jī)械手取料、打標(biāo)、放料回原位
• 全自動(dòng)運(yùn)行，視覺(jué)自動(dòng)尋邊定位機(jī)構(gòu)，加工效率高
• 自動(dòng)檢測(cè)料盒有無(wú)產(chǎn)品，機(jī)械手自帶Mapping功能，可選擇雙面打標(biāo)
• 晶圓機(jī)械手完成設(shè)備內(nèi)的晶圓片運(yùn)轉(zhuǎn)，JEL專用晶圓機(jī)械手
• 標(biāo)配99.995%0.3um過(guò)濾的FFU，有效保障機(jī)內(nèi)潔凈度
產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：
全自動(dòng)晶圓激光標(biāo)刻機(jī)主要是對(duì)各種外延硅晶圓片、先進(jìn)封裝復(fù)合晶圓、SIC晶圓進(jìn)行精密標(biāo)記；適用于6inch,8inch,12inch晶圓打碼
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