晶圓ID激光標(biāo)刻設(shè)備
全自動(dòng)晶圓激光標(biāo)刻機(jī)主要是對(duì)各種硅晶圓、藍(lán)寶石玻璃晶圓、SiC 晶圓進(jìn)行精密 ID 標(biāo)記；適用于 4inch，6inc,8inc 晶圓。
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特點(diǎn)：
• 料盒上下料方式，取料，打標(biāo)，放料回原位。
• 全自動(dòng)上下料，視覺或者自動(dòng)尋邊機(jī)構(gòu)定位，加工效率高。
• 設(shè)備體積微小，使用方便。
• 自帶自動(dòng)檢測(cè)料盒功能，自主計(jì)數(shù) Mapping 功能，可雙面打標(biāo)。
• 晶圓機(jī)械手完成設(shè)備內(nèi)的晶圓片運(yùn)轉(zhuǎn)；JEL/ 首鐳自主機(jī)械手。
產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：
全自動(dòng)晶圓激光標(biāo)刻機(jī)主要是對(duì)各種硅晶圓、藍(lán)寶石玻璃晶圓、SiC 晶圓進(jìn)行精密 ID 標(biāo)記；適用于 4inch，6inc,8inc 晶圓。
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